14：EAP 设备状态与控制模式（核心工作逻辑）

14EAP 设备状态与控制模式核心工作逻辑一、本课学习目标掌握机台标准状态机IDLE、RUN、PAUSE、STOP、ERROR理解 EAP 控制模式LOCAL / REMOTE、ONLINE / OFFLINE明确状态之间的切换条件与 EAP 指令影响掌握 EAP 下发控制指令的前提条件学会通过状态判断机台是否可执行自动化任务建立 EAP 自动化控制的安全逻辑与防错机制二、机台标准状态GEM 标准状态机1. IDLE空闲含义机台就绪、无报警、无任务、可接收指令EAP 判断可以下发 Start、Load 指令必备条件无报警、安全正常、远程模式、联机2. RUN运行含义正在加工晶圆、执行工艺流程EAP 判断监控状态、采集数据、不可下发新启动指令行为机械手动作、工艺运行、数据上报3. PAUSE暂停含义流程暂停可恢复不复位原因等待物料、暂存、操作员暂停EAP 指令可发送 Resume 恢复运行4. STOP停止含义流程终止已复位需重新启动EAP 指令可重新下发 Start 指令5. ERROR故障含义报警触发、流程中断、机台自锁EAP 行为仅监控报警不可控制恢复报警清除 → 回到 IDLE三、EAP 控制模式必须掌握1. LOCAL 本地模式机台手动控制机台面板操作EAP 无法下发任何控制指令仅可读取状态2. REMOTE 远程模式EAP / 自动化控制允许 EAP 下发 Start、Load、Unload、Recipe 指令机台面板禁止关键控制EAP 自动化必备条件3. ONLINE 联机模式机台与 EAP 通信正常可上传报警、状态、数据可接收指令4. OFFLINE 脱机模式通信断开或手动断开EAP 无法交互机台独立运行四、模式组合EAP 自动化必须满足✅ 允许自动化控制REMOTE ONLINE IDLE 无报警❌ 禁止自动化控制LOCAL OFFLINE ERROR 报警存在五、EAP 常用控制指令1. Start启动作用启动工艺流程前提IDLE REMOTE ONLINE 无报警2. Pause暂停作用暂停当前流程适用状态RUN3. Resume恢复作用从暂停处继续运行适用状态PAUSE4. Stop停止作用终止流程复位机台适用状态RUN / PAUSE5. Reset复位作用清除可复位报警恢复 IDLE六、状态切换流程EAP 必懂开机初始化 → IDLE下发 Start → RUN异常触发 → PAUSE / ERROR报警清除 → IDLE下发 Stop → STOP → IDLE七、EAP 自动化控制安全规则机台必须在REMOTE 远程模式才能自动控制必须无报警、无联锁才能下发 Start通信必须ONLINE 联机状态必须IDLE 就绪EAP 不能强制绕过安全条件八、常见现场场景场景1EAP 下发 Start 无反应排查是否 REMOTE是否 ONLINE是否 IDLE是否有报警是否安全回路正常场景2机台 RUN 中突然 PAUSE原因物料不足暂存条件触发操作员暂停工艺等待信号场景3机台自动进入 ERROR原因传感器异常执行器故障安全门打开EPO 触发工艺超时九、本课核心总结机台 5 大状态IDLE、RUN、PAUSE、STOP、ERROREAP 控制必须REMOTE ONLINE IDLE 无报警LOCAL 手动REMOTE 自动ONLINE 通信正常OFFLINE 通信断开EAP 指令Start、Pause、Resume、Stop、Reset机台不执行指令 先查模式与状态十、课后小作业写出 5 种机台状态及含义写出 EAP 可控制的必备条件解释 LOCAL 与 REMOTE 区别描述 EAP 下发 Start 指令的完整判断逻辑列出 4 种导致机台无法启动的常见原因